MOS-Technik [MOS: Abkürzung für englisch metal oxide semiconductor, »Metall-Oxid-Halbleiter«], 1) im weiteren Sinn synonym mit MIS-Technik verwendete Bezeichnung; 2) im engeren Sinn Bezeichnung für einen Spezialbereich der MIS-Technik, in dem bei der Herstellung diskreter und integrierter Halbleiterbauelemente beziehungsweise Funktionselemente – besonders Feldeffekttransistoren (MOSFET), aber auch MOS-Kondensatoren, -Widerstände und -Speicherelemente – Silicium, Siliciumdioxid oder das

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Quellenangabe
Brockhaus, MOS-Technik. http://www.brockhaus.de/ecs/enzy/article/mos-technik